1 Maskaligner AL6-2 (Photolithographie)

Beschreibung

Leistungsbeschreibung: Mask-Aligner EVG 6/2 zur photolithographischen Belichtung von runden Substraten (1, 2, 3, 4, 5, 6) mit max. 10mm Dicke sowie Maskengrößen bis 6. Baujahr ca. 1992. Obwohl max. 6-Substrathalter wurden insbesondere 2010 sehr viele 8 Zoll (also 200mm) Si-Wafer erfolgreich beidseitig belichtet. Vorderseiten- als auch Rückseitenbelichtung (z.B. zur Herstellerung von Membranen) möglich. Softkontakt; Hardkontakt; Vakuumkontakt; Proximity-Belichtung einstellbar. Intervallbelichtung für dicke, nicht chemisch-verstärkte Resiste möglich Justiergenauigkeit laut Spezifikation 1,25µm, realtistisch sind ca. 5µm. Belichtungswellenlänge: 365nm sub-µm Auflösung je nach Resistschichtdicke ist erreichbar Zustandsbeschreibung: Letzer Service durch Hersteller EVG war geschätzt im Jahr 2012 oder 2015. Maskenhalter und Substrathalter mit Lineal sind komplett, Austauschobjektive sind vorhanden. Letzter Test am 05.08.2026 nach ca. 2 Jahren ohne Benutzung: Einschalten der Elektrik: ok Zünden der Quecksilberdampflampe: ok -> Lichtintegrator meldet Lampe zu alt, sollte gewechselt werden; Ersatztlampen können wir mitliefern. Starten der Elektronik: ok Ausgabe auf linken Röhrenmonitor: ok Tastaturfeld: ok (sieht übrigens aus wie am ersten Tag) WICHTIG: Vor dem Starten/Initailisieren muss die Hilfsposition angefahren werden. Sonst verklemmt sich die Tischmechanik und ein Ein-Mal-Passwort muss bei EVG eingekauft werden (~1500€) Anfahren der Hilfsposition: ok Initialsierung: ok Laden des Maskenhalters und Druck-Sensor-Kalibrierung: ok Laden der Maske mit Umgehung des Vakuum-Sensors und etwas Nachhilfe bei der Tisch-Mechanik: ok Laden des Substrathalters: ok Laden des Substrates mit Umgehung des Vakuum-Sensors und etwas Nachhilfe bei der Tisch-Mechanik: ok Ausgabe der Mikroskopobjektiv-Bilder auf den Röhrenmonitor (rechts) scheint fehlerhaft Belichtung: NICHT ok -> Druckdose ist kaputt gegangen; scheint ein FESTO-Normteil zu sein. Reparatur erscheint möglich Umfangreiche Dokumentation vorhanden. U.a. Beschreibungen sämtlicher elektronischer Baugruppen (Stand: 1985) sowie eine original EVG_VHS-Videokassette. Gerät steht im Reinraum122 des befreundeten Nachbar-Instituts IPHT (Beutenberg-Campus, Albert-Einstein-Str. 9, 07745 Jena); Verladung über Materialschleuse_Nord/Hubbühne

Standort auf der KarteWir übernehmen keine Haftung für die Richtigkeit der Angaben (Preise oder andere Daten), da wir ein Aggregator sind und keine Live-Daten haben. Die Daten können veraltet oder falsch sein. Um verbindliche Daten zu sehen, nutzen Sie bitte den 'Hier geht's zum Bieten'-Button des Auktionshauses.

Der Auktionspreis weicht vom reinen Gebotswert ab, da Käuferaufgelder und Mehrwertsteuern anfallen. Simulieren Sie hier Ihr Wunschgebot:

Hinweis zur Berechnung: Die Standard-Aufschläge betragen 18 % Käuferaufgeld und 19 % MwSt. Dies deckt die meisten Auktionshäuser ab. Die genauen Gebühren und Befreiungen (z.B. Export) müssen Sie direkt beim jeweiligen Auktionshaus prüfen.